1Τεχνικά χαρακτηριστικά

lΜικροσκόπιο διπλού οπτικού πεδίου υψηλής μεγέθυνσης και22Η οθόνη LCD ευρείας οθόνης ιντσών παρακολουθεί τη διαδικασία ευθυγράμμισης και παρέχειUSBεξαγωγή· Τόσο η ευθυγράμμιση υψηλής ακρίβειας όσο και η ανίχνευση των αποτελεσμάτων έκθεσης και η εύκολη αποθήκευση

lΧρησιμοποιώντας αναστρέψιμο φωτισμό, η αντικατάσταση των λαμπτήρων υδραργύρου είναι πιο εύκολη, η θερμότητα και η διαρροή του φωτός είναι καλύτερες

lΔιπλό σταθμό εργασίας με επίπεδο ευθυγράμμισης και επίπεδο έκθεσης, αυτόματη εναλλαγή δύο σταθμών

lΧρήση ενσωματωμένων υπολογιστών+Λειτουργία οθόνης αφής, πιο εύκολη λειτουργία και πιο κομψή

lΗ έκδοση είναι πολύ βολική, υψηλός βαθμός αυτοματοποίησης και εύκολη λειτουργία. Διδασκαλία και έρευνα σε πανεπιστήμια (καλή αξιοπιστία, εύκολη παρουσίαση) και εργοστάσια(Υψηλή απόδοση)Ιδιαίτερα κατάλληλο

2Τεχνικές παραμέτρους

lΠεριοχή έκθεσης:100mm×100mm(Αναβάθμιση σε6ίντσες)

lΜήκος κύματος έκθεσης:365nm

lΑνάλυση:≤1mm(πάχος1.5 mmΚόλλη)

lΑκριβότητα ευθυγράμμισης:±0.6mm

lΣειρά κίνησης μικροσκόπιου:X：10mm;Y:10mm

lΜέγεθος μάσκας:2.5ίντσες,3ίντσες,4ίντσες,5ίντσες

lΜέγεθος δείγματος: διάμετροςf15mm--f100mm(διάφορες ασυνήθιστες ταινίες)

Πάχος0.1mm--6mm

lΜέθοδος έκθεσης: χρονοδιάγραμμα (μέθοδος αντίστροφης μέτρησης) και καθορισμένη δόση

lΜε έκθεση σε επαφή κενού, έκθεση σε σκληρή επαφήΦωςΤέσσερις λειτουργίες έκθεσης σε επαφή με πίεση και έκθεσης κοντά

lΑνομοιότητα φωτισμού: 3%（f100mmπεδίο εφαρμογής)

lΜικροσκόπιο προσαρμογής διπλού οπτικού πεδίου: και μέσω γυαλιώνΟπτικήΠροσαρμογή, μπορεί επίσης να περάσειCCD+Οθόνη ευθυγράμμισης, οπτική εικόνα, μέγιστος οπτικός πολλαπλασιασμός400Πολλές φορές, οπτική+Ηλεκτρονική ενίσχυση800Διπλάσια

Τρία ζευγάρια αντικειμένων:4διπλάσια,10διπλάσια,20Διπλάσια

Τρία ζευγάρια γυαλιών:10διπλάσια,16διπλάσια,20Διπλάσια

lΗ ρύθμιση της πίεσης επαφής εξασφαλίζει επανάληψη μέσω του αισθητήρα

lΨηφιακή ρύθμιση ευθυγράμμισης κενών και κενών

lΔιαθέτει διεπαφή μονάδας εκτύπωσης και διεπαφή κοντά στην μονάδα

lΜάσκα σε σχέση με το πρόγραμμα κίνησης του δείγματος:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lΜέγιστο πάχος εστίασης:400mm（SU8κόλλα, οι συνθήκες ανίχνευσης που παρέχονται από τον χρήστη)

lΠαράλληλος φωτός:3?

lΠυκνότητα ενέργειας έκθεσης:>25mW/cm2,Θερμοκρασία επιφάνειας φωτισμού<35?C

lΕνιαία έκθεση με ένα κλικ

lΧρησιμοποιώντας μπάλα+Τρία νύχια ψάχνουν

lΔύναμη λαμπτήρων υδραργύρου:350W(άμεση ροή,Εισαγωγή）

3Μέγεθος:1400mm(μακρύ)?900mm(Πλάτος)?1500mm(Υψηλό)

4. Διαμόρφωση

（1(Κεφάλι έκθεσης)

lΕλισκόπιο κρύου φωτός

l350WΕισαγωγή λαμπτήρων υδραργύρου υψηλής πίεσης DC(Osram Γερμανία)

lXYZΡυθμιστής λαμπτήρων υδραργύρου

lΑνεμιστήρας ψύξης

lΟπτικά συστήματα: Σταθερή γραμμή φωτός, μεταβλητή γραμμή φωτός, κλειστήρας, ορθός καθρέφτης1Απευθείας καθρέφτη2Ομάδα Φακών Μύγας (79ο φακός),iΦίλτρα γραμμής, καθρέφτες πεδίου, καθρέφτες κρύου φωτός1Ο καθρέφτης2

（2(Εργαστήριο ευθυγράμμισης)

lΒάση φωτογραφίας

lΣταθμός εναλλαγής (κυλίνδρος)

lΜάσκα δείγμα συνολικό αθλητικό τραπέζι

lΜάσκα δείγμα σχετικά αθλητικά τραπέζια

lΠίνακας περιστροφής

lΟργανισμός ισορροπίας δείγματος,Τρία σημεία αυτόματης ολοκλήρωσης

lΜηχανισμός εστίασης, αυτόματη ρύθμιση κινητήρα

lΑνώτατος και κάτω μηχανισμός εξέλιξης βάσης

lΣτούντιο4Ένα:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(Μπορεί να μειωθεί ανάλογα με το αίτημα του χρήστη)

lΜάσκα4Ένα:2.5ίντσες,3ίντσες,4ίντσες,5Εντσές (μπορεί να αυξηθεί και να μειωθεί ανάλογα με το αίτημα του χρήστη)

lΜηχανισμός ανάληψης δειγματοληψίας προς τα πάνω και προς τα κάτω

（3(Προσαρμογή μικροσκόπιου)

lΠηγή φωτός, Η τροφοδοσία

lΔιπλό αντικείμενο μικροσκόπιου προσαρμογής διπλού οπτικού πεδίου

lγυαλιά3Ναι.10διπλάσια,16διπλάσια,20Πολλές φορές, συνολικά6ένα)

lαντικείμενο3Ναι.4διπλάσια,10διπλάσια,20Πολλές φορές, συνολικά6ένα)

lCCDσυστήματα προσαρμογής,22Οθόνη LCD ιντσών

（4(Ηλεκτρονικό σύστημα ελέγχου)

lΛαμπτήρα υδραργύρου ενεργοποιεί την τροφοδοσία(350WΛαμπτήρες συνεχούς ρεύματος υδραργύρου)

lΈνα σύστημα ελέγχου

lΠίνακας ελέγχου

lΤραπέζιο ελέγχου

（5Πνευματικό σύστημα

lΚλίνδροι, ηλεκτρομαγνητικές βαλβίδες, βαλβίδες μείωσης πίεσης, πνευματικοί διακόπτες κλπ.

lΗλεκτρομαγνητική βαλβίδα

lΠνευματικά μέτρα

（6Άλλα προσαρτήματα

lΑντλία κενού 1

lΈνας αεροσυμπιεστής

lΣωλήνας διεπαφής υποστήριξης

（7(Τεχνικά στοιχεία)

lΟδηγίες χρήσης επισκευής

lΠιστοποιητικό ελέγχου προϊόντων