EBSD， Η πλήρης ονομασία διάσπαρσης ηλεκτρονικών, το κύριο χαρακτηριστικό είναι η διατήρηση των συνηθισμένων χαρακτηριστικών του ηλεκτρονικού μικροσκόπιου σάρωσης, ενώ παράλληλα πραγματοποιείται διάσπαρση σε διαστημική ανάλυση σε επίπεδο υπομικρομέτρων, δίνοντας δεδομένα κρυσταλλολογίας.

Παράδειγμα 1

Αποτελέσματα EBSD για δείγματα άνθρακα βολφραμίου / κοβαλτίου που λαμβάνονται σε συνθήκες 20kV

Δοκιμή SEM-EBSD σε σφαίρες συγκόλλησης σε PCB

Παρατήρηση in situ της μεταβολής φάσης γ→α στον χαμηλοάνθρακα χάλυβα

Στοιχεία στρεσής στο κράμα Al in situ EBSD

Παράδειγμα 2 Χρησιμοποιώντας την τεχνολογία TKD, δοκιμάστηκε η δομή των νανοπλάκων του νανοκρύσταλλου δίδυμου χαλκού και διακρίθηκε η δομή των δίδυμων πλάκων σε κλίμακα 2nm

Διαγράμματα PQ με επίθεση IPFX και γωνική κατανομή στο κεντρικό τμήμα του γραφήματος