• Υψηλή ακρίβεια ±1.0% σημείο ρύθμισης
  Η γραμμικότητα αυτού του ελεγκτή ροής μάζας αντισταθμίζεται από μια πολυονομική καμπύλη προσέγγισης και επιτυγχάνει υψηλή ακρίβεια στο εύρος ελέγχου ροής. Για να βελτιωθεί η πραγματική ακρίβεια των αερίων, τα δεδομένα κλίμακας για διάφορα αέρια διεργασίας μετρούνται από το τυποποιημένο σύστημα μέτρησης αερίων της HORIBA STEC.
• Απάντηση υψηλής ταχύτητας
  Με το "σύστημα μεταβλητού PID", η απόκριση ενός δευτερολέπτου μπορεί να επιτευχθεί ανάμεσα σε οποιοδήποτε από τα δύο σημεία ρύθμισης. Ο μεταβλητός PID αλλάζει συνεχώς ανάλογα με τις ρυθμίσεις του σημείου ροής. Βελτιστοποιήστε τον συντελεστή PID σε περίπτωση αλλαγής της ροής και των αερίων σε πλήρη κλίμακα.
• Λύσεις με πολλά αέρια/πολλαπλές διαστάσεις
  Το λογισμικό διαμόρφωσης επιτρέπει γρήγορη και εύκολη αλλαγή των προδιαγραφών. Ένα σημαντικό χαρακτηριστικό είναι ότι οι αλλαγές μπορούν να γίνουν χωρίς να χρειάζεται να αφαιρεθεί ο ελεγκτής ροής μάζας από τον πίνακα ελέγχου αερίου ή τον αγωγό. Μειώνεται ο αριθμός των απαιτούμενων εναλλακτικών ελεγκτών ροής μάζας, εξοικονομώντας χρόνο και κόστος.

Ο ελεγκτής ροής μάζας SEC-Z500X είναι κατάλληλος για διάφορες εφαρμογές και κατασκευή ημιαγωγών.