Τα μικροσκόπια ελέγχου Ημιαγωγών/FPD MX63 και MX63L της Olympus είναι βελτιστοποιημένα για την υψηλή ποιότητα ελέγχου τσιπ σε πλάκες έως και 300 mm, οθόνες επίπεδης οθόνης, πίνακες κυκλωμάτων και άλλα μεγάλα δείγματα. Ο μοναδικός σχεδιασμός τους σας επιτρέπει να επιλέξετε τα συστατικά που χρειάζεται να προσαρμόσετε το σύστημα στην εφαρμογή σας. Η μικροσκοπική επιθεώρησης Olympus Semiconductor/FPD συνδυάζει το λογισμικό ανάλυσης εικόνων Olympus Flow και απλοποιεί ολόκληρη τη ροή εργασίας σας, από την παρατήρηση μέχρι τη δημιουργία αναφορών.

Εργαλεία αναλύσεων αιχμής
Η πολυλειτουργική ικανότητα παρατήρησης της σειράς MX63 παρέχει σαφείς και σαφείς εικόνες, έτσι ώστε οι χρήστες να μπορούν να ανιχνεύσουν με αξιοπιστία ελαττώματα στο δείγμα. Οι νέες τεχνολογίες φωτισμού και οι επιλογές συλλογής εικόνων στο λογισμικό ανάλυσης εικόνας Olympus Stream δίνουν στους χρήστες περισσότερες επιλογές για να αξιολογήσουν τα δείγματά τους και να καταγράψουν τα ευρήματά τους.
Το αόρατο γίνεται ορατό: Μικτή παρατήρηση και απόκτηση
Η μεικτή τεχνολογία παρατήρησης δημιουργεί μοναδικές εικόνες παρατήρησης συνδυάζοντας τα σκοτεινά πεδία με μια άλλη μέθοδο παρατήρησης, όπως το φωτεινό πεδίο, η φθοροποίηση ή η πολώνευση. Οι χρήστες μιγμένης παρατήρησης μπορούν να δουν ελαττώματα που δεν είναι ορατά στα συνηθισμένα μικροσκόπια. Οι στρογγυλοί φωτιστές LED που χρησιμοποιούνται για την παρατήρηση σκοτεινού πεδίου έχουν μια λειτουργία κατεύθυνσης σκοτεινού πεδίου, στην οποία φωτίζεται μόνο ένα τέταρτο σε μια δεδομένη στιγμή. Αυτό μειώνει το halo του δείγματος και βοηθά στην οπτικοποίηση της υφής της επιφάνειας του δείγματος.
Η δομή του τσιπ ημιαγωγών

Υπόλοιπα φωτογραφικής κολλής στο τσιπ ημιαγωγών

Εύκολη δημιουργία πανοραμικών εικόνων: Instant MIa
Χρησιμοποιώντας πολλαπλές ευθυγράμμισης εικόνας (MIA), οι χρήστες μπορούν να συνδυάσουν γρήγορα και εύκολα τις εικόνες απλά μετακινώντας το κουμπί KY σε χειροκίνητο στάδιο, ενώ η ηλεκτρική πλατφόρμα δεν είναι απαραίτητη. Το λογισμικό Olympus Stream χρησιμοποιεί την αναγνώριση μοτίβων για να δημιουργήσει πανοραμικές εικόνες, δίνοντας στους χρήστες μια ευρύτερη προοπτική.

Δημιουργία όλων των εικόνων εστίασης: EFI
Η λειτουργία απεικόνισης με εκτεταμένη εστίαση (EFI) στο Olympus Stream συλλέγει εικόνες από δείγματα που εκτείνονται σε ύψος πέρα από το βάθος εστίασης του στόχου και τις επικαλύπτει για να δημιουργήσει μια πλήρως εστιασμένη εικόνα. Η EFI μπορεί να εκτελεστεί με το χέρι ή με ηλεκτρικό άξονα Z και δημιουργεί ένα διάγραμμα ύψους για εύκολη ορατοποίηση της δομής. Μπορείτε επίσης να δημιουργήσετε απευθείας σύνδεση εικόνες EFI σε μια επιφάνεια εργασίας ροής.

Συλλάβετε φωτεινές και σκοτεινές ζώνες με HDR
Χρησιμοποιώντας προηγμένη επεξεργασία εικόνας, το υψηλό δυναμικό εύρος (HDR) ρυθμίζει τις διαφορές φωτεινότητας στην εικόνα για να μειώσει την λάμψη. Το HDR βελτιώνει την οπτική ποιότητα των ψηφιακών εικόνων, βοηθώντας έτσι στη δημιουργία επαγγελματικών αναφορών.

Από τις βασικές μετρήσεις στην ανάλυση
Οι μετρήσεις είναι ζωτικής σημασίας για τον έλεγχο και τον έλεγχο της ποιότητας και των διαδικασιών. Έχοντας αυτό υπόψη, ακόμη και το πακέτο εισαγωγικού επιπέδου Olympus Stream περιλαμβάνει ένα πλήρες μενού διαδραστικών λειτουργιών μέτρησης, όπου όλα τα αποτελέσματα των μετρήσεων αποθηκεύονται σε αρχεία εικόνας για περαιτέρω τεκμηρίωση. Επιπλέον, η λύση υλικών ροής της Olympus παρέχει μια διαισθητική διεπαφή προσανατολισμένη στη ροή εργασίας για περίπλοκες αναλύσεις εικόνων. Με ένα κλικ στο κουμπί, το έργο ανάλυσης εικόνας μπορεί να εκτελεστεί γρήγορα και με ακρίβεια. Με σημαντική μείωση του χρόνου επεξεργασίας επαναλαμβανόμενων εργασιών, ο χειριστής μπορεί να επικεντρωθεί στον έλεγχο στο χέρι.

Δημιουργία αναφοράς
Η δημιουργία μιας αναφοράς συνήθως διαρκεί περισσότερο από τη λήψη εικόνων και τη μέτρηση. Το λογισμικό Olympus Stream παρέχει διαισθητική δημιουργία εκθέσεων για την επαναλαμβανόμενη δημιουργία έξυπνων και περίπλοκων εκθέσεων με βάση προκαθορισμένα πρότυπα. Η επεξεργασία είναι απλή και η αναφορά μπορεί να εξαχθεί στο λογισμικό Microsoft Word ή PowerPoint. Επιπλέον, η δυνατότητα αναφοράς του λογισμικού Olympus Stream επιτρέπει την ψηφιακή κλίμακα και τη λήψη μεγεθωμένων εικόνων. Το έγγραφο αναφοράς είναι λογικού μεγέθους και διευκολύνει την ανταλλαγή δεδομένων μέσω ηλεκτρονικού ταχυδρομείου.

Επιλογές ανεξάρτητης κάμερας
Χρησιμοποιώντας κάμερες μικροσκόπιου DP22 ή DP27, η σειρά MX63 αποτελεί ένα προηγμένο ανεξάρτητο σύστημα. Η κάμερα ελέγχεται από ένα συμπαγές κουτί που απαιτεί μόνο μικρό χώρο, βοηθώντας τους χρήστες να αξιοποιήσουν στο μέγιστο τον εργαστηριακό χώρο, ενώ ταυτόχρονα μπορούν να συλλάβουν σαφείς εικόνες και να κάνουν βασικές μετρήσεις.

Υποστήριξη Cleanroom Conformity
Η σειρά MX63 έχει σχεδιαστεί για να λειτουργεί σε καθαρά δωμάτια και συμβάλλει στη μείωση του κινδύνου ρύπανσης ή βλάβης του δείγματος. Το σύστημα έχει ανθρωπολογικό σχεδιασμό για να βοηθήσει τον χρήστη να είναι άνετο, ακόμη και σε μακροπρόθεσμη χρήση. Η σειρά MX63 πληροί διεθνείς προδιαγραφές και πρότυπα, συμπεριλαμβανομένων των Semi S2/S8, CE και UL.
Προαιρετική ενσωμάτωση φορτών τσιπ - σύστημα AL120*
Οι προαιρετικοί φορτωτές τσιπ μπορούν να συνδεθούν με τη σειρά MX63 για τη μεταφορά τσιπ ημιαγωγών πυριτίου και ενώσεων από κασέτες κουτιού σε φάση μικροσκοπίου χωρίς να χρησιμοποιούνται πινέτες ή ράβδοι. Εξαιρετική απόδοση και αξιοπιστία επιτρέπουν αποτελεσματικούς μακροελέγχους μπροστά και πίσω, ενώ ο φορτωτής συμβάλλει στην αύξηση της παραγωγικότητας του εργαστηρίου.

Το MX63 σε συνδυασμό με το φορτωτή τσιπ Al120 (έκδοση 200mm) * Το E120 δεν είναι διαθέσιμο στο EMEA.
Γρήγορος έλεγχος καθαρισμού
Η σειρά MX63 ανταποκρίνεται στον έλεγχο τσιπ δωματίου χωρίς σκόνη. Όλα τα κινούμενα εξαρτήματα έχουν δομή ασπίδας και εφαρμόζουν αντιστατική επεξεργασία σε μικροσκόπια, σωλήνες, αναπνευστικά καλύμματα και άλλα εξαρτήματα. Η κινητή ρινική φτερά περιστρέφεται ταχύτερα από την χειροκίνητη ρινική φτερά, μειώνοντας τον χρόνο ελέγχου, διατηρώντας παράλληλα το χέρι του χειριστή κάτω από το τσιπ, μειώνοντας την πιθανή ρύπανση.

Σχεδιασμός συστημάτων για αποτελεσματική παρατήρηση
Χάρη στον συνδυασμό του ενσωματωμένου συμπλέκτη και του κουμπιού XY, το επίπεδο XY είναι σε θέση να πραγματοποιήσει ταυτόχρονα χοντρές και λεπτές κινήσεις σε δύο φάσεις. Η φάση αυτή συμβάλλει στην αποτελεσματικότητα παρατήρησης, ακόμη και για μεγάλα δείγματα, όπως τσιπ 300 mm.Το ευρύ φάσμα των κλειστών σωλήνων παρατήρησης επιτρέπει στον χειριστή να καθίσει κάτω από το μικροσκόπιο σε άνετη θέση.

Δεχτεί όλα τα μεγέθη τσιπ

Το σύστημα είναι διαθέσιμο με διάφορους τύπους 150 - 200 mm και 200 - 300 mm κάτοχοι και πλάκες γυαλιού. Αν το μέγεθος του τσιπ αλλάξει στη γραμμή παραγωγής, το πλαίσιο του μικροσκόπιου μπορεί να τροποποιηθεί με μικρότερο κόστος. Με τη σειρά MX63, μπορούν να χρησιμοποιηθούν διαφορετικά στάδια για να φιλοξενήσουν γραμμές ελέγχου σε τσιπ 75 mm, 100 mm, 125 mm και 150 mm.
Διαισθητικός έλεγχος μικροσκόπιου: Άνετος και εύκολος στη χρήση
Η ρύθμιση του μικροσκόπιου είναι εύκολη και διευκολύνει τον χρήστη να προσαρμόσει και να αναπαράγει τις ρυθμίσεις του συστήματος.
Βρείτε γρήγορα την εστίαση: Βοήθεια εστίασης
Η εισαγωγή βοηθητικών συσκευών εστίασης στην οδό του φωτός επιτρέπει εύκολη και ακριβή εστίαση σε δείγματα χαμηλής αντίθεσης, όπως γυμνά.

Εύκολη ανάκτηση των ρυθμίσεων μικροσκόπιου: κωδικοποιημένο υλικό
Η δυνατότητα κωδικοποίησης συνδυάζει τις ρυθμίσεις υλικού της σειράς MX63 με το λογισμικό ανάλυσης εικόνων ροής Olympus. Η μέθοδος παρατήρησης, η ένταση του φωτισμού και η μεγέθυνση καταγράφονται αυτόματα από το λογισμικό και αποθηκεύονται στις σχετικές εικόνες. Δεδομένου ότι οι ρυθμίσεις μπορούν εύκολα να αναπαραχθούν, κάθε χειριστής μπορεί να πραγματοποιήσει τον ίδιο ποιοτικό έλεγχο με ελάχιστη εκπαίδευση.

Ανθρωπολογικός έλεγχος για ταχύτερη και πιο άνετη λειτουργία
Οι συσκευές ελέγχου που αλλάζουν τον στόχο και ρυθμίζουν το φως βρίσκονται κάτω από το μικροσκόπιο, έτσι ώστε ο χρήστης να μην χρειάζεται να χαλαρώσει το κουμπί εστίασης ή να μετακινήσει το κεφάλι του από τα γυαλιά κατά τη διάρκεια της χρήσης.

Ταχύτερη παρατήρηση μέσω του διαχειριστή έντασης φωτός και του αυτόματου ελέγχου διαβάθρου
Κάτω από ένα κανονικό μικροσκόπιο, κάθε παρατηρητής πρέπει να ρυθμίσει την ένταση του φωτός και το διάφραγμα. Οι χρήστες της σειράς MX63 μπορούν να ρυθμίσουν την ένταση του φωτός και τις συνθήκες aperture για διαφορετικούς πολλαπλασιασμούς μεγέθυνσης και μεθόδους παρατήρησης. Αυτές οι ρυθμίσεις μπορούν εύκολα να ανακληθούν, βοηθώντας τους χρήστες να εξοικονομήσουν χρόνο και να διατηρήσουν την εξαιρετική ποιότητα εικόνας.
Διαχειριστής έντασης φωτός
|
|
|
| Συνήθη ένταση φωτός |
Όταν αλλάζετε τον πολλαπλασιαστή μεγέθυνσης ή τη μέθοδο παρατήρησης, η εικόνα γίνεται πολύ φωτεινή ή σκοτεινή.
|
| Διαχειριστής έντασης φωτός |
Όταν αλλάζετε τον πολλαπλασιαστή μεγέθυνσης ή την παρατήρηση, ρυθμίζετε αυτόματα την ένταση του φωτός για να δημιουργήσετε εξαιρετικές εικόνες.
|
Αυτόματος έλεγχος διάμετρου

Ελέγχους ποιότητας οπτικής και ψηφιακής απεικόνισης
Η ιστορία της Olympus στην ανάπτυξη υψηλής ποιότητας οπτικών και προηγμένων ψηφιακών ικανοτήτων απεικόνισης έχει αποδείξει ότι έχει καταγράψει την οπτική ποιότητα και το μικροσκόπιο που παρέχουν εξαιρετική ακρίβεια μέτρησης.
Εξαιρετική οπτική απόδοση: έλεγχος διαφοράς πριν από το κύμα
Οι οπτικές ιδιότητες των αντικειμένων επηρεάζουν άμεσα την ποιότητα της παρατηρημένης εικόνας και τα αποτελέσματα της ανάλυσης. Ο στόχος υψηλής μεγέθυνσης του Olympus UIS2 έχει σχεδιαστεί για να ελαχιστοποιήσει τις διαφορές προ-κύματος και να παρέχει αξιόπιστες οπτικές επιδόσεις.

Κακό κύμα μπροστά από καλό κύμα μπροστά (UIS2 στόχος)
Συνεπής θερμοκρασία χρώματος: υψηλής έντασης λευκό φως LED φωτισμός
Η σειρά MX63 χρησιμοποιεί υψηλής έντασης λευκό φως LED για τον αντανακλαστικό και διαβιβαστικό φωτισμό. Τα LED διατηρούν μια σταθερή θερμοκρασία χρώματος, ανεξάρτητα από την ένταση, για να εξασφαλίσουν αξιόπιστη ποιότητα εικόνας και αναπαραγωγή χρώματος. Το σύστημα LED παρέχει υψηλή απόδοση και μεγάλη διάρκεια ζωής υλικών φωτισμού, κατάλληλα για εφαρμογές επιστήμης υλικών.

Ακριβής μέτρηση: αυτόματη βαθμονόμηση
Παρόμοια με το ψηφιακό μικροσκόπιο, η αυτόματη βαθμονόμηση είναι διαθέσιμη όταν χρησιμοποιείται το λογισμικό Olympus Stream. Η αυτόματη βαθμονόμηση βοηθά στην εξάλειψη της ανθρώπινης μεταβλητότητας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας βαθμονόμησης, οδηγώντας έτσι σε πιο αξιόπιστες μετρήσεις. Αυτόματη βαθμονόμηση Χρησιμοποιεί αλγόριθμους που υπολογίζουν αυτόματα τη σωστή βαθμονόμηση από τους μέσους όρους πολλών σημείων μέτρησης. Αυτό ελαχιστοποιεί υπερβολικά τις διαφορές που εισάγονται από διάφορους φορείς εκμετάλλευσης και διατηρεί σταθερή ακρίβεια, βελτιώνοντας την αξιοπιστία των τακτικών επαληθεύσεων.

Απόλυτη σαφήνεια εικόνας: διόρθωση σκιάς εικόνας
Το λογισμικό Olympus Stream χαρακτηρίζεται από διόρθωση σκιάς για να προσαρμόζεται στις σκιές στις γωνίες της εικόνας. Όταν χρησιμοποιείται σε συνδυασμό με τις ρυθμίσεις ορίου έντασης, η διόρθωση σκιάς παρέχει μια πιο ακριβή ανάλυση.
Τσιπ ημιαγωγών (εικόνα διπλής αξίας)

Πλήρως προσαρμόσιμο
Η σειρά MX63 έχει σχεδιαστεί για να επιτρέψει στους πελάτες να επιλέξουν ένα ευρύ φάσμα οπτικών εξαρτημάτων για να προσαρμόζονται στις ανάγκες μεμονωμένων ελέγχων και εφαρμογών. Το σύστημα μπορεί να χρησιμοποιήσει όλες τις μεθόδους παρατήρησης. Οι χρήστες μπορούν επίσης να επιλέξουν από διάφορα πακέτα ανάλυσης εικόνας Olympus Stream για να ανταποκριθούν στις ανάγκες συλλογής και ανάλυσης προσωπικών εικόνων.
Τα δύο συστήματα προσαρμόζονται σε διαφορετικά μεγέθη δειγμάτων
Το σύστημα MX63 μπορεί να φιλοξενήσει τσιπ έως και 200 mm, ενώ το σύστημα MX63L μπορεί να χειριστεί τσιπ έως και 300 mm με το ίδιο μικρό αποτύπωμα με το σύστημα MX63. Ο μοναδικός σχεδιασμός σας επιτρέπει να προσαρμόσετε το μικροσκόπιο ανάλογα με τις συγκεκριμένες σας απαιτήσεις.

Υπερκόκκινη συμβατότητα
Οι υπέρυθροι αντικείμενα μπορούν να χρησιμοποιηθούν με υπέρυθρο αντικείμενο, το οποίο επιτρέπει στον χειριστή να ανιχνεύσει χωρίς βλάβη το εσωτερικό του τσιπ IC που συσκευάζεται και τοποθετείται στο PCB, αξιοποιώντας τις ιδιότητες του διαβιβάζοντος υπέρυθρου πυριτίου. Οι υποκόκκινοι στόχοι 5X έως 100X μπορούν να διορθωθούν με τη διάκριση χρώματος μέσω του ορατού μήκους κύματος κοντά στο υποκόκκινο φως.

Η σειρά MX63 χρησιμοποιείται σε τομείς εφαρμογών μικροσκόπιων αντανακλαστικού φωτός. Αυτές οι εφαρμογές είναι ένα παράδειγμα ορισμένων μεθόδων που χρησιμοποιούνται συστηματικά για βιομηχανικούς ελέγχους.

Η υπερκόκκινη ακτινοβολία (IR) χρησιμοποιείται για την αναζήτηση άλλων ελαττωμάτων σε τσιπ IC και συσκευές πυριτίου στο γυαλί.

Το πολωνικό φως χρησιμοποιείται για να αποκαλύψει τη υφή της ύλης και την κατάσταση των κρυστάλλων. Είναι κατάλληλο για τον έλεγχο των δομών τσιπ και LCD.

Διαφορική αντίθεση παρέμβασης (DIC) χρησιμοποιείται για να βοηθήσει την προβολή διαφορών με μικρά δείγματα. Είναι ιδανικό για δείγματα πανεπιστημιακών επιθεωρήσεων με υψηλές διαφορές, όπως τα μαγνητικά κεφάλια λεπτών, τα μέσα σκληρού δίσκου, και γυαλισμένα τσιπ.

Τα σκοτεινά πεδία χρησιμοποιούνται για την ανίχνευση μικρών γρατζουνιών ή ελαττωμάτων στο δείγμα ή για την ανίχνευση του δείγματος με καθρέφτη, όπως τσιπ. Οι χρήστες μίγματος φωτισμού μπορούν να βλέπουν τα μοτίβα και τα χρώματα.

Η φθορά χρησιμοποιείται σε δείγματα που εκπέμπουν φως όταν φωτίζονται με ειδικά σχεδιασμένα φίλτρα. Χρησιμοποιείται για την ανίχνευση ρύπανσης και υπολείμματα φωτοαντιστατικών. Ο μικτός φωτισμός επιτρέπει την παρατήρηση των υπολειμμάτων φωτογενών αντιστατικών και των μοτίβων IC.

Αυτή η τεχνική παρατήρησης είναι κατάλληλη για διαφανή δείγματα, όπως LCD, πλαστικά και γυαλινά υλικά. Ο μικτός φωτισμός επιτρέπει την παρατήρηση των χρωμάτων των φίλτρων και των μοτίβων κυκλωμάτων.
Παράμετροι διαμόρφωσης της λύσης μικροσκόπιου ελέγχου Olympus Semiconductor/FPD MX63 / MX63L
MX63 |
MX63L |
||
Οπτικά συστήματα |
Οπτικό σύστημα UIS2 (απεριόριστη διόρθωση) |
||
|
Εμφάνιση Μικρο Καθρέφτης μηχανή σκάφος |
Αντανακλαστικός φωτισμός |
LED φως, 12V100W αλογόνο φως, 100W υδράργυρο φως |
|
Φωτισμός μετάδοσης |
Φωτισμός: MX-TILLA ή MX-TILLB - MX-TILLA::Διάμετρος φωτός προσάρτημα NA0.5 |
||
εστίαση |
Διαδρομή: 32 mm |
||
Ανώτατο όριο φορτίου (συμπεριλαμβανομένων των τραπεζιών) |
8 kg |
15 kg |
|
|
Θεώρηση Τσάκα κυλίνδρος |
Πεδίο όρασης (FN 22 mm) |
Ακριβώς όπως το U-ETR4 |
|
|
Εξαιρετικά ευρύ όραμα (FN 26.5 mm) |
Σταθερό και κλειστό τρίο μάτι: MX-SWETTR (100%: 0 ή 0: 100%) |
||
Μετατροπέας αντικειμένων |
Ηλεκτρικός μετατροπέας έξι οπών με υποδοχή DIC: U-D6REMC |
||
Σταθμός μεταφοράς |
Ενσωματωμένη οδήγηση συμπλέκτη, δεξιά λαβή του κοάξονα: |
Ενσωματωμένη οδήγηση συμπλέκτη, δεξιά λαβή του κοάξονα: MX-SIC1412R2 |
|
Βάρος |
Περίπου: 35.6kg (26kg μικροσκόπιο) |
Περίπου: 44kg (28.5kg μικροσκόπιο) | |



