Σε πολλές εφαρμογές υπερκαθαρού αερίου, όπως στη βιομηχανία ημιαγωγών, η εναπομείναντα υγρασία στο αέριο είναι ζωτικής σημασίας για την κανονική λειτουργία της επεξεργασίας. Η συνεχής παρακολούθηση της υγρασίας ήταν πάντα δύσκολη και απαιτούσε πολύπλοκους αναλυτές υγρασίας ή ακριβές τεχνικές ανάλυσης. Ωστόσο, οι μετρητές MISSELL παρουσιάζουν στην αγορά μια απλή, οικονομική και αρκετά αποτελεσματική λύση για τη μετρήση του σημείου δρόσου σε απευθείας σύνδεση, με χαμηλότερο όριο έως και -120 ° C (ισοδύναμο με λιγότερο από 1 ppb).Β). Με βάση την πολυετή επαγγελματική εμπειρία των μετρητών MISSELL στην παραγωγή και την επαλήθευση αισθητήρων σημείου δρόσου αντίστασης, η Pura Transmitter συνδυάζει τυποποιημένα βιομηχανικά υλικά και διαδικασίες κατασκευής για να δημιουργήσει τον πρώτο μεταδότη χαμηλής τιμής για τη βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών και εφαρμογές υπερκαθαρών αερίων. Επισημάνωση Μέτρηση κατώτατου ορίου -120°C σημείο δρόσου (1 ppb)Β) Σταθερή μέτρηση, καλή επαναληψιμότητα Υψηλά ενσωματωμένη μονάδα δειγματοληψίας Αναλογική και ψηφιακή έξοδος Εύκολη εγκατάσταση Διεύθυνση διεργασίας VCR Compact σχεδιασμός Προαιρετική μονάδα οθόνης/συναγερμού
Τεχνικοί δείκτες
Αισθητήρες Τύπος αισθητήρα Κεραμικός αισθητήρας υγρασίας Μέρος -120 ~ -40°C Σημείο δρόσου (ελέγχεται σε -100 ~ -40°C) Ακριβότητα ±1°C -40 ~ -60°C ±2°C -61 ~ -100°C ±4°C -101 ~ -120°C (εκτίμηση) Ανάλυση 0,1°C -40 ~ -79,9°C 1°C -80 ~ -100°C 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C Πίεση Ελάχιστο 10-9 torr Μέγιστο 24 MPa Ροή αερίου 1 ~ 5 Nl/min Ηλεκτρική Η τροφοδοσία Συνήθως 24 V DC, ελάχιστο 10 V ~ μέγιστο 28 V, μέγιστο ρεύμα 25 mA Εξαγωγή Έξοδος 4-20 mA, εύρος ρύθμισης με ειδικό λογισμικό, εύρος ρύθμισης από 1 έως 80°C (διαθέσιμο τυποποιημένα) Μέγιστο φορτίο = 100 Ω + 50 Ω x (τροφοδοσία V -8) Κατάσταση σφάλματος εξόδου Τα τυποποιημένα μηνύματα σφάλματος εξόδου είναι τα εξής: 23 mA = βλάβη του αισθητήρα. 20 mA = υπεράνω ορίου 4 mA = υπερ-κάτω όριο Μηχανικές ιδιότητες Μανίδα αισθητήρα Ανοξείδωτο χάλυβα, 0,1-0,2 µm αλκοόλιψη γυαλισμένο Λιμάνια σύνδεσης αεροδρόμου Premium ή OEM: διεπαφή VCR ¼' m Pura Sensor τύπος: ½' m VCR διεπαφή Ρυθμίσεις εγκατάστασης Premium ή OEM: 120.00mm μήκους, σφραγίδα στην άκρη της θύρας αεροδρόμου. Δεν χρειάζεται να διατηρηθούν κενά σωλήνες Δύο τρύπες εγκατάστασης M4 x 0,7, βάθος 7 mm, με διάσταση 20 x 20 mm Τύπος Pura Sensor: για θύρες VCR ½' που παρέχονται από τον χρήστη Μέγεθος Premium ή OEM: 120 x 35 x 150 mm Pura Αισθητήρας 型: 132 Χ 35mm Βάρος Premium ή OEM: 450g Pura Αισθητήρας 型: 180γραμμάρια Συσκευασία Pura: Συσκευασία διπλού στρώματος, σφραγίδα γέμισης αδράνειων αερίων Pura OEM ή Pura Sensor Τύπος: Μονοστρωματική συσκευασία Όλα τα επιλεγμένα εξαρτήματα: Ανεξάρτητη συσκευασία Ο τύπος αισθητήρα διαθέτει προστατευτικό κάλυμμα στο άκρο του τσιπ αισθητήρα για μεταφορά και λειτουργία