Χαρακτηριστικά προϊόντος:
1, το περίβλημα της μηχανής χρησιμοποιεί επεξεργασία βαφής κρύου έλασης, η εσωτερική χολή είναι κατασκευασμένη από ανοξείδωτο χάλυβα 316L υλικό. Ο θερμαντήρας είναι ομοιόμορφα κατανεμημένος γύρω από τον εσωτερικό και εξωτερικό τοίχο της χολής, χωρίς ηλεκτρικά εξαρτήματα και εύφλεκτες εκρηκτικές συσκευές. Η γυάλινη πόρτα με διπλό στρώμα, στεγνωμένη από σφαίρες, παρατηρεί τα αντικείμενα στο στούντιο με μια ματιά.
2, το κλείσιμο της πόρτας του κουτιού χαλαρά ρυθμίζεται, η συνολική διαμόρφωση του δακτυλίου σφράγισης πόρτας από καουτσούκ σιλικόνης εξασφαλίζει υψηλό κενό στο κουτί.
3, έξυπνο θερμομέτρο μικρουπολογιστή, με ρυθμίσεις, μέτρηση της θερμοκρασίας διπλής ψηφιακής οθόνης και λειτουργία αυτοολοκλήρωσης PID, ακριβής και αξιόπιστος έλεγχος θερμοκρασίας.
Το έξυπνο σύστημα ελέγχου οθόνης αφής υποστηρίζει την ιαπωνική μονάδα Mitsubishi PLC για να επιτρέψει στους χρήστες να αλλάξουν τις διαδικασίες, τη θερμοκρασία, το κενό και τον χρόνο κάθε προγράμματος ανάλογα με τις διαφορετικές συνθήκες επεξεργασίας.
HMDS αέριο κλειστό τύπο αυτόματη απορρόφηση προσθέτει σχεδιασμό, κενό κουτί καλή απόδοση σφραγίδας, διασφαλίζοντας ότι το αέριο HMDS δεν έχει εξωτερικές ανησυχίες διαρροής.
Ολόκληρο το σύστημα κατασκευάζεται από υλικό, χωρίς σκόνη, και εφαρμόζεται στο περιβάλλον καθαρισμού 100 επιπέδων φωτός.
Επιλογή εξαρτημάτων:
Αντλίες κενού: γερμανική μάρκα, αντλίες πετρελαίου περιστροφικής σειράς Leipzig "DC", υψηλό όριο κενού, χαμηλό θόρυβο και σταθερή λειτουργία.
Σωλήνας σύνδεσης: Κυματοποιημένος σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα, πλήρως σφραγισμένος που συνδέει την αντλία κενού με τον φούρνο.
Απαιτήσεις για το σύστημα προεπεξεργασίας HMDS:
Στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών, η φωτογραφία είναι ένα σημαντικό σημείο της διαδικασίας μεταφοράς γραφικών ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, η ποιότητα της επικάλυψης επηρεάζει άμεσα την ποιότητα της φωτογραφίας, και η διαδικασία επικάλυψης είναι ιδιαίτερα σημαντική. Η συντριπτική πλειοψηφία της φωτογραφικής κολλής είναι υδροφόβια, και η υδροξυλική επιφάνεια και τα υπόλοιπα μόρια νερού της πλακέτας πυριτίου είναι υδροφιλικά, γεγονός που προκαλεί χαμηλή κολλή της φωτογραφικής κολλής και της πλακέτας πυριτίου, ιδιαίτερα η θετική κολλή, όταν η απεικόνιση εισβάλλει το υγρό στην σύνδεση της φωτογραφικής κολλής και της πλακέτας πυριτίου, εύκολο να προκαλέσει απόρριψη, πλωτή κολλή κ.λπ., οδηγώντας στην αποτυχία της Το συγκολλητικό HMDS (εξαμεθυλδισιλαναζάνιο) μπορεί να βελτιώσει πολύ καλά αυτή την κατάσταση. Μετά την επένδυση του HMDS στην επιφάνεια του πυριτίου, η θερμότητα του φούρνου μπορεί να αντιδράσει για να δημιουργήσει ενώσεις με κύριο ρόλο το σιλοξάνο. Επέτυχε να μετατρέψει την επιφάνεια του πυριτίου από υδρόφιλο σε υδροφοβικό, το υδροφοβικό βάση του μπορεί να συνδεθεί καλά με τη φωτογραφική κόλλα, παίζοντας το ρόλο του συνδέσμου.
Αρχή του φούρνου κενού HMDS:
Το σύστημα προεπεξεργασίας HMDS μέσω των παραμέτρων της θερμοκρασίας εργασίας της διαδικασίας προεπεξεργασίας HMDS του φούρνου, του χρόνου επεξεργασίας, του χρόνου διατήρησης κατά την επεξεργασία μπορεί να επικαλύψει ομοιόμορφα ένα στρώμα HMDS στην επιφάνεια του πυριτίου και της επιφάνειας του υποκείμενου, μειώνοντας τη γωνία επαφής του πυριτίου μετά την επεξεργασία HMDS, μειώνοντας τη χρήση φωτογραφικής κόλλας και βελτ
Γενική ροή εργασίας για το κενό φούρνο HMDS:
Προσδιορίστε πρώτα τη θερμοκρασία λειτουργίας του φούρνου. Η τυπική διαδικασία προεπεξεργασίας είναι: ανοίξτε την αντλία κενού αντλώντας κενό, αναμένετε το κενό μέσα στην κοιλή να φτάσει σε ένα συγκεκριμένο υψηλό βαθμό κενού, να αρχίσει να γεμίσει το αζώτο, να γεμίσει μέχρι να φτάσει σε ένα συγκεκριμένο χαμηλό βαθμό κενού, και πάλι να πραγματοποιήσει την αντλία κενού, να γεμίσει τη διαδικασία αζώτου, να φτάσει στον ορισμένο αριθμό των φορτίων πλήρωσης αζώτου, να αρχίσει να διατηρήσει για κάποιο Στη συνέχεια, ξεκινήστε να αντλείτε το κενό και πάλι, να γεμίσετε το αέριο HMDS, να σταματήσετε να γεμίσετε το υγρό HMDS μετά την άφιξη του καθορισμένου χρόνου, να εισέλθετε στη φάση διατήρησης, έτσι ώστε τα δισκία πυριτίου να αντιδράσουν πλήρως με το HMDS. Όταν φτάσει ο ρυθμισμένος χρόνος διατήρησης, ξεκινήστε ξανά την αντλία κενού. Φόρτωση αζώτου για την ολοκλήρωση όλης της διαδικασίας εργασίας. HMDS και το μηχανισμό αντίδρασης του πυριτίου είναι το εξής: πρώτα θερμαίνεται σε 100 ° C-200 ° C, αφαιρείτε την υγρασία της επιφάνειας του πυριτίου, στη συνέχεια HMDS και η επιφάνεια OH μια αντίδραση, στην επιφάνεια του πυριτίου και παράγει πυριτίου αιθέρα, εξαλείψει τον δεσμό υδρογόνου, έτσι ώστε η πολική επιφάνεια να μετατραπεί σε μη πολική επιφάνεια. Ολόκληρη η αντίδραση συνεχίζεται μέχρι να εμποδίσει την περαιτέρω αντίδρασή της η διαστημική αντίσταση (η μεγαλύτερη τριμεθυλοσιλανκυλική).
Εκπομπές καυσαερίων κλπ.: Ο πλεονέκτητος ατμός HMDS (καυσαερία) θα αντλείται από την αντλία κενού και θα εκπέμπεται σε ειδικό σωλήνα συλλογής καυσαερίων. Ειδική επεξεργασία απαιτείται όταν δεν υπάρχουν ειδικοί σωλήνες συλλογής καυσαερίων.
Ζωγραφική πλάκα κρύου έλασης
