Ανίχνευση ανιχνευτών ιόντων ηλίου (PDHID) για μικροσκοπικές ακαθαρσίες σε εξαιρετικά καθαρά και υπερκαθαρά αέρια διοξειδίου του άνθρακα
Ανίχνευση ανιχνευτών ιόντων ηλίου (PDHID) για μικροσκοπικές ακαθαρσίες σε εξαιρετικά καθαρά και υπερκαθαρά αέρια διοξειδίου του άνθρακα