Atonarp φάσματόμετρο μάζας ελέγχου διαδικασίας Aston ™ Τεχνικές προδιαγραφές:
Γενικά εργαλεία για τον έλεγχο διαδικασιών σε πραγματικό χρόνο, ανθεκτικά σε διαβρωτικά αέρια, ανθεκτικά σε συμπύκνωση
Πλατφόρμα in situ μοριακής ανάλυσης για την κατασκευή ημιαγωγών που παρέχει πραγματικό χρόνο, λειτουργικά δεδομένα
Πηγή ιόντωσης πλάσματος, χωρίς σύρματα, πιο ανθεκτική
Πλήρης ενσωμάτωση με εργαλεία μαζικής παραγωγής
Aston ™ Αναλυτής φάσματος μάζας διαδικασίαςΩς μια ισχυρή πλατφόρμα, μπορεί να αντικαταστήσει μια ποικιλία παραδοσιακών εργαλείων, προσφέροντας πρωτοφανή επίπεδα ελέγχου, συμπεριλαμβανομένης της φωτογραφίας, της ηλεκτρικής και αγωγικής γλώσσας και της κατάθεσης, του καθαρισμού των θαλάμων, της ταιρίασης και της διάλυσης των θαλάμων.
Aston ™ Αναλυτής φάσματος μάζας διαδικασίαςΤεχνικές παραμέτρους
|
Τύπος |
Impact-300 |
Impact-300DP |
Plasma-200 |
Plasma-200DP |
Plasma-300 |
Plasma-300DP |
|
μοντέλο |
AST3007 |
AST3006 |
AST3005 |
AST3004 |
AST3003 |
AST3002 |
|
Διαχωρισμός ποιότητας |
Τέταρτη ράβδο |
|||||
|
Σύστημα κενού |
Μοριακή αντλία |
Μοριακή αντλία |
Μοριακή αντλία |
Μοριακή αντλία |
Μοριακή αντλία |
Μοριακή αντλία |
|
ανιχνευτής |
FC /SEM |
|||||
|
Πεδίο ποιότητας |
2-285 |
2-220 |
2-285 |
|||
|
Ανάλυση |
0.8±0.2 |
|||||
|
Όρια ανίχνευσης |
0.1 PPM |
|||||
|
Θερμοκρασία λειτουργίας |
15-35“℃ |
|||||
|
Δύναμη |
350 W |
|||||
|
Βάρος |
15 kg |
|||||
|
Μέγεθος |
299 x 218 x 331 LxWxH(mm) |
400 x 240 x 325 LxWxH(mm) |
||||
Atonarp Aston™ Εφαρμογές: Σημαντικές εξελίξεις στον έλεγχο και τη βελτιστοποίηση της διαδικασίας ημιαγωγών για τη βελτίωση της απόδοσης, της παραγωγικότητας και της αποδοτικότητας της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών
Aston ™ Είναι ένα ολοκαίνουργιο, ανθεκτικό και συμπαγές ηλεκτρονικό φάσματόμετρο μάζας σχεδιασμένο για την παρακολούθηση και τον έλεγχο αερίων σε εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών και ελέγχου βιομηχανικών διεργασιών, σε συνδυασμό με υψηλή ποσοτική ακρίβεια και πραγματικό χρόνο με ανθεκτικότητα και αξιοπιστία στην παραγωγή, όπως η ανάλυση ανίχνευσης καυσαερίων ξηρών αντλιών ημιαγωγών για την επίτευξη ηλεκτρονικής παρακολο
CVD / ALD: Μετάβαση οξειδίου-νιτριδίου και ανάλυση συστατικών
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: Αναγνώριση μορίων παρακολούθησης

Αν χρειάζεστε περισσότερες πληροφορίεςAtonarp Aston ™ Online φάσματόμετρο μάζαςΓια περισσότερες πληροφορίες ή συζητήσεις, παρακαλούμε ανατρέξτε στα ακόλουθα στοιχεία επικοινωνίας:
Σαγκάη: Δεσποινίς Γιε Ταϊβάν: Δεσποινίς Γουάνγκ
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
Μ: +86 1391-883-7267 (το ίδιο αριθμό WeChat) Μ: +886-939-653-958
Τώρα μερικές μάρκες προσλαμβάνουν πράκτορες συνεργασίας, οι ενδιαφερόμενοι είναι ευπρόσδεκτοι να επικοινωνήσουν με την δις Baidong Ye της Σαγκάης 1391-883-7267
Πνευματικά δικαιώματα της Σαγκάης, πρέπει να αντιγράψετε!
