Χαρακτηριστικά του συστήματος ελέγχου 8 ιντσών Olympus Wafer

• Ευρύ φάσμα προσαρμογής, ευέλικτη συνδυασμό, το σύστημα ελέγχου 8 ιντσών Olympus Wafer έχει υψηλή πρακτικότητα και υψηλή αξιοπιστία.

● 8 ιντσών σύστημα ελέγχου OLYMPUS wafer μεταφέρει διάφορα μεγέθη πλάκες πυριτίου

Με βάση το μέγεθος των πλάκων πυριτίου, τα συστήματα ελέγχου πλάκων της σειράς AL120 είναι διαθέσιμα σε 3 βασικά μοντέλα, συμβατά με μεγέθη μοναδικών 200mm (AL120-L8), 150mm και 200mm (AL120-L86), και μεγέθη μοναδικών 150mm ή μικρότερα (AL120-L6). Κάθε ένα έχει σχεδιαστεί για τη μετάδοση μιας μικροσκοπικής εξέτασης. Οι μπροστινές μακροεντολές και οι πίσω μακροεντολές μπορούν να εφαρμοστούν με διάφορα μεγέθη πλάκων πυριτίου.

● Το σύστημα ελέγχου 8 ιντσών OLYMPUS μπορεί να μεταφέρει εξαιρετικά λεπτές πλακέτες πυριτίου, δηλαδή λεπτές έως 90um

Για να αντιμετωπίσει πιο δύσκολες εξαιρετικά λεπτές πλάκες πυριτίου, το σύστημα ελέγχου πλάκων Olympus έχει σχεδιαστεί ειδικά για το βραχίονα μετάδοσης που μπορεί να αντιμετωπίσει κουτιά 200mm σε 25 τεμάχια και λεπτές πλάκες πυριτίου έως 90um και να ολοκληρώσει την ασφαλή μετάδοση και τον έλεγχο μικροσκοπίου. Μέχρι και 10 διαφορετικά πάχος πληροφοριών για πλάκες πυριτίου μπορούν να προορίζονται μέσω του πίνακα.

● Η ικανότητα ακρίβειας για την ενίσχυση της λειτουργίας της μακροεπιθεώρησης

Η νέα μηχανή με λειτουργία μακροεπιθεώρησης (τύπος LMB) περιστρέφεται αυτόματα 360 μοίρες για να ολοκληρώσει τον μακροεπιθεώρηση κάθε πλευράς της πλάκας πυριτίου. Αυτός ο σχεδιασμός επιτρέπει την εύκολη ανακάλυψη ελαττωμάτων και σωματιδίων στη θετική και αντίθετη πλευρά του πυριτίου. Επιπλέον, μπορεί να πραγματοποιηθεί μακροεπιθεώρηση με τη χρήση ραβδίων κλίσης 30 μοιρών.

• Η οθόνη LCD παρέχει ακρίβεια και ευκολία λειτουργίας

Η οθόνη LCD παρέχει στον χειριστή μια πιο διαισθητική οπτική αίσθηση, καθιστώντας σαφή τα στοιχεία και τη σειρά ελέγχου του συστήματος ελέγχου κυψελών της Olympus, καθώς και τις παραμέτρους που απαιτούνται για την εγκατάσταση και την εκκαθάριση. Τα αποτελέσματα του ελέγχου, συμπεριλαμβανομένων των μακροσκοπικών και μικροσκοπικών σημείων ελαττωμάτων που εισάγονται από τον χειριστή, μπορούν να εμφανίζονται σε οθόνη LCD για να διευκολύνουν την αναθεώρηση του χειριστή.

• Αξιοσύνη ακρίβειας

Για την ασφάλεια των πλάκων πυριτίου, το σύστημα ελέγχου πλάκων της σειράς AL120 χρησιμοποιεί δύο νέες μεθόδους ανίχνευσης πλάκων πυριτίου: το πάχος των πλάκων πυριτίου και τη θέση τους στο κουτί. Σάρωση της θέσης του σκελετού στο κουτί πριν από τη μεταφορά. Η προαιρετική λειτουργία αυτόματου κλειδώματος του τραπέζιου μεταφοράς βελτιώνει την ασφάλεια της μεταφοράς των πλάκων πυριτίου στο κενό τραπέζι μεταφοράς.

Ισχυρό και αξιόπιστο μικροσκόπιο

Το μικροσκόπιο εξέτασης ημιαγωγών Olympus MX61 παρέχει εικόνες υψηλής ευκρίνειας και υψηλής ανάλυσης με διάφορους τρόπους παρατήρησης: φωτεινά πεδία, σκοτεινά πεδία, διαφορικές παρεμβάσεις, υπερκόκκινα και βαθιά υπεριώδη. Εξοπλισμένος με ηλεκτρικό δίσκο περιστροφής φακού, με τη λειτουργία σύνδεσης του ανοίγματος του φιλοξενούμενου μικροσκόπιου, κάθε εναλλαγή του αντικειμένου, ο ανοίγματος θα μεταμορφωθεί αυτόματα.

Συμμόρφωση με τα πρότυπα SEMI S2/S8 και RoHS

Το σύστημα ελέγχου πλάκας της σειράς AL120 σχεδιάστηκε όχι μόνο για την ασφάλεια των πλάκων πυριτίου κατά τη μεταφορά, αλλά και για την ασφάλεια του χειριστή, σύμφωνα πλήρως με τα πρότυπα S2 και S8 της SEMI, αλλά και με τα πρότυπα Rohs.

Τεχνικές προδιαγραφές του συστήματος ελέγχου 8 ιντσών Olympus